匯通的真空泵在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用

  就目前而言，電子技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代電子行業(yè)的核心，對(duì)高精度、高效能的生產(chǎn)工藝提出了更高的要求。在半導(dǎo)體制造中，真空技術(shù)及其核心組成部分——真空泵，匯通的真空泵就扮演著至關(guān)重要的角色。

1. 制造清潔環(huán)境

半導(dǎo)體制造工藝對(duì)制造環(huán)境的潔凈度有極高的要求。真空泵通過(guò)抽取工藝室內(nèi)的氣體，有效降低了環(huán)境中的微粒和雜質(zhì)含量。清潔的制程環(huán)境有助于提高半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)質(zhì)量和穩(wěn)定性，降低制程中的缺陷率。

2. 調(diào)控氣體壓力

半導(dǎo)體制造中，各種氣體的抽取和處理是關(guān)鍵步驟之一。真空泵可以高效抽取工藝室內(nèi)的氣體，將其排放或通過(guò)處理系統(tǒng)進(jìn)行凈化，確保制程中所需的氣氛符合精密的要求。

3. 制程中的氣體抽取與處理